碱性蚀刻液是属于化铜系统蚀刻液,主要适用于细线路的蚀刻流程,具有高速度、高含铜量、稳定性好、侧蚀小、无沉淀、易控制等特点。适用于锡铅、纯锡、镍金等抗蚀刻阻层。
使用方法:
1.子液规格:
1)色泽:透明澄清
2)ph: 9.5±0.5
3)离子含量 :夏天:165±15g/l,冬天:160±15 g/l.
4)比重 :1.03±0.02
5)储存的温度 :20—35℃,通风环境。
2.子液配制(1l):
1)ds—686蚀刻盐:280—300g/l
2)水(20%):500ml/l
3)纯水 :余量
3.操作条件:
控制项目 控制范围 适条件
比重: 1.195±0.02 1.195±0.01
ph : 8.4±0.4 8.4±0.1
离子含量: 170—210g/l 190g/l
铜离子含量: 120—150g/l 135g/l
温度: 50±2℃
4.槽液的控制与维护:
1)定期检查自动控制之比重和槽液比重是否符合而做适当校正。
2)定期分析槽液ph值,含铜量,含量,并作成管制图。
3)每日下班时,使用子液冲洗蚀铜机前后进出之滚轮,避免干燥氧化铜之累积。
4)用时,可多添加3%—5%子液,避免nh3过量损失。
5)停机超过45日—60日以上时,清洗蚀刻机槽维护如下:
a)将槽液排出到预备桶。
b)用水并喷洗5分钟后排放。
c)使用3%(b?v)hci清洗并喷洗5分钟后排放。
d)检查喷嘴喷淋情况是否正常。
e)用水再清洗一次并检查加热器,冷却水管及滤网板。
f)加水与约2%水或子液混合后喷洗5分钟后排放。
g)将槽液抽回。
h)添加时请在槽外配制成子液溶解后,再加入蚀铜机内。
(离子标准值—分析值)× nh4cl/cl ×槽体积(l)/1000= 添加化kg量。
例:(200-170)×53.5/35.5×500l/1000=22.6kg
分析方法:
1、铜含量
(a)所需药剂:
1)mx指示剂。
2)0.1n edta溶液。
(b)分析步骤:
1)抽取1ml的槽液,置于250ml锥形瓶中。
2)加入100ml纯水。
3)加入约0.02g的mx指示剂。
4)以0.1medta滴定,当颜色由绿色再转为蓝色或紫色时点即为终点。
(c)计 算:铜含量g/l=滴定液体积ml×63.5×0.1
2 、离子含量:
(a)所需药剂:
1)0.1agno3(银)标准液。
2)10%na2cr2o6(钠)指示剂。
3)2%冰
(b) 分析步骤:
1) 抽取5ml工作液至100ml容量瓶中,并以纯水稀释至标准位置。
2) 抽取5ml上项之稀释液于250ml锥形瓶中。
3) 加入50ml的纯水。
4) 加入约0.35ml(7滴)10%na2cr2o6。
5) 加入约适量2%冰:
子液约需4—5ml,颜色由青绿变金黄。
槽液约需10—12ml,颜色由混浊变澄清黄色。
6) 以0.1nagno3缓慢滴至沉淀为散开状细小颗粒、略偏粉红为终点。
(c)计 算:离子g/l=agno3滴ml数×14.2
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